氣體名稱

化學式

規格(%)

雜質(ppm)

氦氣

He

99.995%

CH4≤1 ,CO2≤1, Ne≤10, H2≤3, CO≤1, H20≤10

99.999%

O2≤1,CH4≤1, CO2≤0.5, Ne≤4 ,H2≤1, CO≤0.5 ,H2O≤3

99.9995%

O2≤0.5 ,CH4≤0.1, CO2≤0.2, Ne≤1, H2≤0.1, CO≤0.1 ,H2O≤1

氬

Ar

99.99%

O2≤10 ,THC≤10 ,N2≤50 ,H2≤5, H2O≤15

99.999%

O2≤2 ,THC≤2, N2≤5, H2≤1, H2O≤4

99.9995%

O2≤1, THC≤0.5, N2≤2, H2≤0.5, H2O≤1

氫

H2

99.99%

O2≤5 ,CO2≤5, N2≤60, CH4≤10 ,CO≤5, H2O≤30

99.999%

O2≤1 ,CO2≤1, N2≤5, CH4≤1 ,CO≤3 ,H2O≤1

氮

N2

99.99%

O2≤50 ,CO2≤10, H2≤10, CO≤5, H2O≤15, CH4≤5

99.999%

O2≤1 ,H2O≤2, H2≤1, HC≤3

氧

O2

99.995%

Ar≤20 ,CO2≤1, N2≤20, HC≤2

二氧化碳

CO2

99.995%

O2≤10, H2O≤5, N2≤20, CO≤1 ,HC≤10

99.999%

O2≤1,H2O≤2,N2≤5,CO≤1,HC≤1

一氧化碳

CO

99.95%

氮氣<350,氧氣<50,水<5

二氧化硫

SO2

99.9%

氧+氮<100,水<10,其他<200

一氧化氮

NO

99.5%

氧化亞氮<4000,二氧化氮<2000,氮氣<300,二氧化碳<500

二氧化氮

NO2

99.9%

氧化亞氮

N2O

99.99%

氖

Ne

99.995%

H2≤2 ,N2≤5, He≤40, THC≤1 ,O2+Ar≤2, H2O≤2

99.999%

O2≤1 ,N2≤5, H2O≤2 ,He≤10

氪

Kr

99.999%

N2≤2 ,H2≤0.5 ,O2+Ar≤1.5,H2O≤2, CO2≤0.4,CO≤0.3,CH4≤0.3

氙

Xe

99.99%

N2≤20, Ar≤10, N2O≤1 ,O2≤2 ,H2≤2 ,Kr≤50, H2O≤3 ,HC≤3

99.998%

N2≤3, THC≤1 ,N2O≤0.5, O2+Ar≤2 ,H2O≤2.6, H2≤0.5, Kr≤4

硫化氫

H2S

99.9%

氫氣<200ppm,氧氣+氮氣<100ppm,水<3ppm

液氯

Cl2

99.9%

二氧化碳<400,一氧化碳 <10,氫氣<200,氮氣<100,氧氣<20,水 <100

氯氣

Cl2

99.999%

氨

NH3

99.0%

氧氣 <1.0ppm,氮氣 <2.0ppm,一氧化碳<1.0ppm,水<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm

99.999%

六氟化硫

SF6

99.99%

O2≤10 ,H20≤5, N4≤40, HF≤0.1, CF4≤25

合成空氣

Air

O2:19.5～22.5%

H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤5

零空氣

O2: 19.5～22.5%

H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤0.1